(19)
(11) EP 2 499 678 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.06.2012

(43) Veröffentlichungstag:
19.09.2012  Patentblatt  2012/38

(21) Anmeldenummer: 10775834.4

(22) Anmeldetag:  11.11.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/18(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/067299
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/058106 (19.05.2011 Gazette  2011/20)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 13.11.2009 DE 102009053262

(71) Anmelder: Institut für Solarenergieforschung GmbH
31860 Emmerthal (DE)

(72) Erfinder:
  • BRENDEL, Rolf
    31789 Hameln (DE)
  • ERNST, Marco
    31785 Hameln (DE)

(74) Vertreter: Kühn, Ralph 
Maiwald Patentanwalts GmbH Elisenhof Elisenstraße 3
80335 München
80335 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM BILDEN VON DÜNNEN HALBLEITERSCHICHTSUBSTRATEN ZUM HERSTELLEN VON SOLARZELLEN