(19)
(11) EP 2 501 842 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
11.08.2011

(43) Veröffentlichungstag:
26.09.2012  Patentblatt  2012/39

(21) Anmeldenummer: 10778575.0

(22) Anmeldetag:  15.11.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 18/16(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/006938
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/057816 (19.05.2011 Gazette  2011/20)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 16.11.2009 DE 102009053406

(71) Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
80539 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MORHARD, Christoph
    70565 Stuttgart (DE)
  • PACHOLSKI, Claudia
    70565 Stuttgart (DE)
  • SPATZ, Joachim P.
    70569 Stuttgart (DE)

(74) Vertreter: Katzameyer, Michael 
v. Bezold & Partner Patentanwälte Akademiestrasse 7
80799 München
80799 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR RÄUMLICH AUFGELÖSTEN VERGRÖSSERUNG VON NANOPARTIKELN AUF EINER SUBSTRATOBERFLÄCHE