(19)
(11) EP 2 502 262 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.09.2012  Patentblatt  2012/39

(21) Anmeldenummer: 10776681.8

(22) Anmeldetag:  10.11.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/228(2006.01)
 H01L 21/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/067224
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/061109 (26.05.2011 Gazette  2011/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 18.11.2009 DE 102009053818

(71) Anmelder: Evonik Degussa GmbH
45128 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • STÜTZEL, Bernhard
    45770 Marl (DE)
  • FAHRNER, Wolfgang
    79194 Gundelfingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DOTIERTER SILICIUMSCHICHTEN, NACH DEM VERFAHREN ERHÄLTLICHE SILICIUMSCHICHTEN UND IHRE VERWENDUNG