(19)
(11) EP 2 507 407 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
05.01.2012

(43) Veröffentlichungstag:
10.10.2012  Patentblatt  2012/41

(21) Anmeldenummer: 10795639.3

(22) Anmeldetag:  30.11.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 18/16(2006.01)
C23C 18/28(2006.01)
C23C 18/30(2006.01)
 C23C 18/31(2006.01)
C23C 18/18(2006.01)
H01G 9/058(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/068516
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/064387 (03.06.2011 Gazette  2011/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 30.11.2009 DE 102009056072

(71) Anmelder: Technische Universität Darmstadt
64289 Darmstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • ENSINGER, Wolfgang
    64839 Münster (DE)
  • BÖHME, Mario
    64846 Groß-Zimmern (DE)

   


(54) VERFAHREN UND STOFFGEMISCHE ZUR HERSTELLUNG VON METALLISCHEN BZW. METALLOXIDISCHEN SCHICHTEN