(19)

(11)

EP 2 510 133 A1

(12)

(43) Date de publication: 17.10.2012  Bulletin  2012/42 (21) Numéro de dépôt: 10787795.3 (22) Date de dépôt:  10.12.2010

(51) Int. Cl.:  C23C 18/30(2006.01) C23C 18/54(2006.01) C23C 18/31(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2010/069411 (87) Numéro de publication internationale: WO 2011/070167 (16.06.2011 Gazette  2011/24)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorité: 10.12.2009 FR 0958851 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: GARCIA, Alexandre F-94200 Ivry sur Seine (FR) BERTHELOT, Thomas F-91940 Les Ulis (FR) (74) Mandataire: Ilgart, Jean-Christophe et al BREVALEX 95 rue d'Amsterdam 75378 Paris Cedex 8 75378 Paris Cedex 8 (FR)