(19)
(11) EP 2 510 532 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
15.09.2011

(43) Veröffentlichungstag:
17.10.2012  Patentblatt  2012/42

(21) Anmeldenummer: 10787759.9

(22) Anmeldetag:  07.12.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01H 59/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/069019
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/069988 (16.06.2011 Gazette  2011/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 07.12.2009 DE 102009047599

(71) Anmelder: IHP GmbH-Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
15236 Frankfurt / Oder (DE)

(72) Erfinder:
  • KAYNAK, Mehmet
    15230 Frankfurt (Oder) (DE)
  • BIRKHOLZ, Mario
    15232 Frankfurt (Oder) (DE)
  • TILLACK, Bernd
    15234 Frankfurt (Oder) (DE)
  • EHWALD, Karl-Ernst
    15234 Frankfurt (Oder) (DE)
  • SCHOLZ, René
    06114 Halle (DE)

(74) Vertreter: Eisenführ, Speiser & Partner 
Anna-Louisa-Karsch-Strasse 2
10178 Berlin
10178 Berlin (DE)

   


(54) ELEKTROMECHANISCHER MIKROSCHALTER ZUR SCHALTUNG EINES ELEKTRISCHEN SIGNALS, MIKROELEKTROMECHANISCHES SYSTEM, INTEGRIERTE SCHALTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INTEGRIERTEN SCHALTUNG