(19)
(11) EP 2 510 534 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
09.09.2011

(43) Veröffentlichungstag:
17.10.2012  Patentblatt  2012/42

(21) Anmeldenummer: 10790430.2

(22) Anmeldetag:  10.12.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/08(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/069383
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/070156 (16.06.2011 Gazette  2011/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 11.12.2009 DE 102009057970

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • MACHALETT, Frank
    07751 Jena (DE)
  • LOSSEN, Jan
    99086 Erfurt (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR IONENSTRAHLMODIFIKATION EINES HALBLEITERSUBSTRATES