PROCEDE ET DISPOSITIF DE PILOTAGE DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS PAR MESURE DE CONTAMINATION - Patent 2513949

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(11)

EP 2 513 949 A1

(12)

(43)	Date de publication:
	24.10.2012 Bulletin 2012/43

(21)	Numéro de dépôt: 10798766.1

(22)	Date de dépôt: 16.12.2010

(51)

Int. Cl.:

H01L 21/00^(2006.01)

H01L 21/673^(2006.01)

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/EP2010/069973

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2011/073348 (23.06.2011 Gazette 2011/25)

(84)	Etats contractants désignés:
	AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30)

Priorité:

18.12.2009 FR 0959235

(71)	Demandeur: Adixen Vacuum Products
	74000 Annecy (FR)

(72)	Inventeurs:
	FAVRE, Arnaud F-74009 Annecy (FR) BOUNOUAR, Julien F-74009 Annecy (FR)

(74)	Mandataire: Croonenbroek, Thomas Jakob et al
	Cabinet Innovincia 11, avenue des Tilleuls 74200 Thonon-les-Bains 74200 Thonon-les-Bains (FR)

(54)	PROCEDE ET DISPOSITIF DE PILOTAGE DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS PAR MESURE DE CONTAMINATION