(19)
(11) EP 2 513 957 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
15.09.2011

(43) Veröffentlichungstag:
24.10.2012  Patentblatt  2012/43

(21) Anmeldenummer: 10792842.6

(22) Anmeldetag:  14.12.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/60(2006.01)
H01L 23/31(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/007628
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/082778 (14.07.2011 Gazette  2011/28)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 15.12.2009 DE 102009058764

(71) Anmelder:
  • Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V.
    80686 München (DE)
  • Technische Universität Berlin
    10623 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • OSTMANN, Andreas
    10685 Berlin (DE)
  • DIONYSIOS, Manessis
    10707 Berlin (DE)
  • BÖTTCHER, Lars
    13189 Berlin (DE)
  • KARASZKIEWICZ, Stefan
    12359 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Patent- und Rechtsanwälte Joachimstaler Strasse 12
10719 Berlin
10719 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ELEKTRONISCHEN BAUGRUPPE UND ELEKTRONISCHE BAUGRUPPE