METALLOXID-FELDEFFEKTTRANSISTOREN AUF MECHANISCH FLEXIBLEM POLYMERSUBSTRAT MIT AUS LÖSUNG PROZESSIERBAREM DIELEKTRIKUM BEI NIEDRIGEN TEMPERATUREN - Patent 2513971

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EP 2 513 971 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	24.10.2012 Patentblatt 2012/43

(21)	Anmeldenummer: 10785431.7

(22)	Anmeldetag: 03.12.2010

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

H01L 29/49^(2006.01)

H01L 29/786^(2006.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2010/068867

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2011/073044 (23.06.2011 Gazette 2011/25)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

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Priorität:

18.12.2009 EP 09179923

(71)	Anmelder: BASF SE
	67056 Ludwigshafen (DE)

(72)	Erfinder:
	FLEISCHHAKER, Friederike 67063 Ludwigshafen (DE) WLOKA, Veronika 68163 Mannheim (DE) KAISER, Thomas 67454 Haßloch (DE)

(74)	Vertreter: Steinbusch, Daniel
	Isenbruck Bösl Hörschler LLP Patentanwälte Seckenheimer Landstrasse 4 68163 Mannheim 68163 Mannheim (DE)

(54)	METALLOXID-FELDEFFEKTTRANSISTOREN AUF MECHANISCH FLEXIBLEM POLYMERSUBSTRAT MIT AUS LÖSUNG PROZESSIERBAREM DIELEKTRIKUM BEI NIEDRIGEN TEMPERATUREN