(19)
(11) EP 2 513 981 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
24.11.2011

(43) Veröffentlichungstag:
24.10.2012  Patentblatt  2012/43

(21) Anmeldenummer: 10792850.9

(22) Anmeldetag:  17.12.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/18(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/007753
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/072872 (23.06.2011 Gazette  2011/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 18.12.2009 DE 102009058786

(71) Anmelder:
  • Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
    80686 München (DE)
  • Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
    79085 Freiburg (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHMICH, Evelyn
    77652 Offenburg (DE)
  • KIEFER, Fabian
    79115 Freiburg (DE)
  • REBER, Stefan
    79194 Gundelfingen (DE)
  • LINDEKUGEL, Stefan
    79110 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Patent- und Rechtsanwälte Theresienhöhe 13
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG LOKAL STRUKTURIERTER HALBLEITERSCHICHTEN