ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSK..HRIS..MTNORS..SM..................*XDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 1100000/02513981A220121024EP10792850.92010121720120711dedede10200905878620091218DE2012102420124320121024201243H01L 31/18 20060101AFI20110708BHEP deVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG LOKAL STRUKTURIERTER HALBLEITERSCHICHTENenMETHOD FOR PRODUCING LOCALLY STRUCTURED SEMICONDUCTOR LAYERSfrPROCÉDÉ DE FABRICATION DE COUCHES SEMI-CONDUCTRICES À STRUCTURES LOCALESFraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.100125356129EP 1352Hansastrasse 27c80686 MünchenDEAlbert-Ludwigs-Universität Freiburg100073953129EP 1352Fahnenbergplatz79085 FreiburgDESCHMICH, EvelynHauptstrasse 4877652 OffenburgDEKIEFER, FabianCarl Kistner Strasse 979115 FreiburgDEREBER, StefanWeiherweg 979194 GundelfingenDELINDEKUGEL, StefanSchäppeleweg 1779110 FreiburgDEPfenning, Meinig & Partner GbR100060642Patent- und Rechtsanwälte Theresienhöhe 1380339 MünchenDEALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTREP201000775320101217deWO20110728722011062320112520111124000000