(19)
(11) EP 2 516 692 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
31.10.2012  Patentblatt  2012/44

(21) Anmeldenummer: 10798099.7

(22) Anmeldetag:  23.12.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/02(2006.01)
C23C 14/58(2006.01)
C30B 29/16(2006.01)
H01L 31/18(2006.01)
C30B 23/02(2006.01)
 C23C 14/08(2006.01)
C30B 25/06(2006.01)
C30B 33/10(2006.01)
H01L 31/0216(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/070655
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/076921 (30.06.2011 Gazette  2011/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 23.12.2009 DE 102009060547

(71) Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SITTINGER, Volker
    38106 Braunschweig (DE)
  • SZYSZKA, Bernd
    38108 Braunschweig (DE)
  • DEWALD, Wilma
    38106 Braunschweig (DE)
  • SÄUBERLICH, Frank
    78655 Dunningen (DE)
  • STANNOWSKI, Bernd
    12587 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Manske, Jörg et al
FRITZ Patent- und Rechtsanwälte Apothekerstrasse 55
59755 Arnsberg
59755 Arnsberg (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATS MIT ALUMINIUMDOTIERTEM ZINKOXID