ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSK..HRIS..MTNORS..SM..................*XDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 1100000/02516692A120121031EP10798099.72010122320120723dedede10200906054720091223DE2012103120124420121031201244C23C 14/02 20060101AFI20110715BHEP C23C 14/08 20060101ALI20110715BHEP C23C 14/58 20060101ALI20110715BHEP C30B 25/06 20060101ALI20110715BHEP C30B 29/16 20060101ALI20110715BHEP C30B 33/10 20060101ALI20110715BHEP H01L 31/18 20060101ALI20110715BHEP H01L 31/0216 20060101ALI20110715BHEP C30B 23/02 20060101ALI20110715BHEP deVERFAHREN ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATS MIT ALUMINIUMDOTIERTEM ZINKOXIDenMETHOD FOR COATING A SUBSTRATE WITH ALUMINUM-DOPED ZINC OXIDEfrPROCÉDÉ D'APPLICATION D'UN REVÊTEMENT D'OXYDE DE ZINC DOPÉ À L'ALUMINIUM SUR UN SUBSTRATFraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V.101216837PT 10/178/EPHansastraße 27c80686 MünchenDESITTINGER, VolkerKollwitzstrasse 838106 BraunschweigDESZYSZKA, BerndMargaretenhöhe 4138108 BraunschweigDEDEWALD, WilmaSchunterstrasse 5638106 BraunschweigDESÄUBERLICH, FrankAm Schafhaus 2278655 DunningenDESTANNOWSKI, BerndPeter-Hille-Strasse 105a12587 BerlinDEManske, Jörget al101284726FRITZ Patent- und Rechtsanwälte Apothekerstrasse 5559755 ArnsbergDEALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTREP201007065520101223deWO201107692120110630201126