(19)

(11)

EP 2 517 228 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 31.10.2012  Patentblatt  2012/44 (21) Anmeldenummer: 10798974.1 (22) Anmeldetag:  23.12.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/316(2006.01) H01J 37/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/007927 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/076430 (30.06.2011 Gazette  2011/26)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 23.12.2009 DE 102009060230 (71) Anmelder: Beckmann, Wilhelm 33098 Paderborn (DE)	(72) Erfinder: Beckmann, Wilhelm 33098 Paderborn (DE) (74) Vertreter: Wagner, Karl H.  Wagner & Geyer Partnerschaft Patent- und Rechtsanwälte Gewürzmühlstrasse 5 80538 München 80538 München (DE)