(19)
(11) EP 2 526 056 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
13.10.2011

(43) Veröffentlichungstag:
28.11.2012  Patentblatt  2012/48

(21) Anmeldenummer: 10793230.3

(22) Anmeldetag:  15.12.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C01B 33/107(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/069799
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/085896 (21.07.2011 Gazette  2011/29)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 18.01.2010 DE 102010000978

(71) Anmelder: Evonik Degussa GmbH
45128 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • STOCHNIOL, Guido
    45721 Haltern am See (DE)
  • LATOSCHINSKI, Günter
    45770 Marl (DE)
  • ÖNAL, Yücel
    Carl Junction, MO 64834 (US)
  • PAULI, Ingo
    61389 Schmitten (DE)
  • BIEKER, Alfons
    79664 Wehr (DE)

(74) Vertreter: Dittmar, Kersten 
Evonik Degussa GmbH DG-IPM-PAT Bau 1042 / PB 15 Paul-Baumann-Straße 1
45764 Marl
45764 Marl (DE)

   


(54) STRÖMUNGSROHRREAKTOR ZUR UMSETZUNG VON SILIZIUMTETRACHLORID ZU TRICHLORSILAN