LITHOGRAPHIEFREIER SCHOTTKY-HALBLEITERPROZESS MIT MÖGLICHKEIT DER INTEGRATION EINER SCHUTZDIODE - Patent 2526567

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EP 2 526 567 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	28.11.2012 Patentblatt 2012/48

(21)	Anmeldenummer: 11801615.3

(22)	Anmeldetag: 22.12.2011

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

H01L 29/872^(2006.01)

H01L 21/329^(2006.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2011/006527

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2012/084253 (28.06.2012 Gazette 2012/26)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

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Priorität:

23.12.2010 DE 102010055757

(71)	Anmelder: Diotec Semiconductor AG
	79423 Heitersheim (DE)

(72)	Erfinder:
	LO VERDE, Domenico 79423 Heitersheim (DE)

(74)	Vertreter: Otten, Herbert
	Otten, Roth, Dobler & Partner Patentanwälte Grosstobeler Strasse 39 88276 Ravensburg/Berg 88276 Ravensburg/Berg (DE)

(54)	LITHOGRAPHIEFREIER SCHOTTKY-HALBLEITERPROZESS MIT MÖGLICHKEIT DER INTEGRATION EINER SCHUTZDIODE