| (19) |
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(11) |
EP 2 527 048 A3 |
| (12) |
EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
| (88) |
Veröffentlichungstag A3: |
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16.01.2013 Patentblatt 2013/03 |
| (43) |
Veröffentlichungstag A2: |
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28.11.2012 Patentblatt 2012/48 |
| (22) |
Anmeldetag: 30.04.2008 |
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| (51) |
Internationale Patentklassifikation (IPC):
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| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL
PT RO SE SI SK TR |
| (30) |
Priorität: |
30.04.2007 DE 102007020655
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| (62) |
Anmeldenummer der früheren Anmeldung nach Art. 76 EPÜ: |
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08749932.3 / 2144714 |
| (71) |
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der
angewandten Forschung e.V. |
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80686 München (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- Vissing, Klaus-Dieter
27321 Thedinghausen (Morsum) (DE)
- Ott, Matthias
21255 Dohren (DE)
- Dölle, Christopher
27749 Delmenhorst (DE)
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| (74) |
Vertreter: Eisenführ, Speiser & Partner |
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Postfach 10 60 78
28060 Bremen
28060 Bremen (DE) |
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| (54) |
Verfahren zum Herstellen dünner Schichten und entsprechende Schicht |
(57) Die Erfindung betrifft ein Beschichtungsverfahren, umfassend die Schritte
a) Bereitstellen einer Mischung oder eines Reinstoffs, umfassend oder bestehend aus
reaktionsträgen, flüssigen Precursoren,
b) Aufbringen einer flüssigen Schicht aus der Mischung oder dem Reinstoff auf eine
zu beschichtende Oberfläche,
c) Vernetzten der flüssigen Precursoren mittels Strahlung mit einer Wellenlänge von
≤ 250 nm, so dass aus der Mischung eine feste Schicht entsteht und die Schicht ≥ 10
Atom-% C umfasst, bezogen auf die Menge der in der Schicht enthaltenen Atome ohne
H und F,
und so dass der in der Schicht enthaltene C zu maximal 50 Atom-% des C, bezogen auf
die Menge der in der Schicht enthaltenen C-Atome, Bestandteil einer Methoxygruppe
ist.
Sie betrifft ferner mittels dieses Verfahrens herstellbare oder erzeugte Schichten
und deren Verwendungen sowie entsprechende beschichtete Gegenstände und deren Verwendungen.