(19)
(11)
EP 2 529 040 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
05.12.2012
Patentblatt 2012/49
(21)
Anmeldenummer:
10800894.7
(22)
Anmeldetag:
22.12.2010
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
C23C
14/56
(2006.01)
B24C
1/00
(2006.01)
C23C
16/44
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/007971
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/088884
(
28.07.2011
Gazette 2011/30)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
(30)
Priorität:
25.01.2010
DE 102010005762
(71)
Anmelder:
Oerlikon Trading AG, Trübbach
9477 Trübbach (CH)
(72)
Erfinder:
NÄFF, Peter
9494 Schaan (LI)
(74)
Vertreter:
Kempkens, Anke
Vordere Mühlgasse 187
86899 Landsberg a. Lech
86899 Landsberg a. Lech (DE)
(54)
REINIGUNGSVERFAHREN FÜR BESCHICHTUNGSANLAGEN