(19)
(11) EP 2 529 040 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.12.2012  Patentblatt  2012/49

(21) Anmeldenummer: 10800894.7

(22) Anmeldetag:  22.12.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/56(2006.01)
B24C 1/00(2006.01)
C23C 16/44(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/007971
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/088884 (28.07.2011 Gazette  2011/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 25.01.2010 DE 102010005762

(71) Anmelder: Oerlikon Trading AG, Trübbach
9477 Trübbach (CH)

(72) Erfinder:
  • NÄFF, Peter
    9494 Schaan (LI)

(74) Vertreter: Kempkens, Anke 
Vordere Mühlgasse 187
86899 Landsberg a. Lech
86899 Landsberg a. Lech (DE)

   


(54) REINIGUNGSVERFAHREN FÜR BESCHICHTUNGSANLAGEN