(19)

(11)

EP 2 529 182 A1

(12)

(43) Date de publication: 05.12.2012  Bulletin  2012/49 (21) Numéro de dépôt: 11705922.0 (22) Date de dépôt:  24.01.2011

(51) Int. Cl.:  G01B 17/06(2006.01) G03F 7/20(2006.01) G01B 21/32(2006.01) G01N 29/06(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2011/050127 (87) Numéro de publication internationale: WO 2011/089368 (28.07.2011 Gazette  2011/30)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorité: 25.01.2010 FR 1050468 (71) Demandeur: Soitec 38190 Bernin (FR)	(72) Inventeurs: BROEKAART, Marcel F-38570 Theys (FR) CASTEX, Arnaud F-38100 Grenoble (FR) MARINIER, Laurent F-38660 Lumbin (FR) (74) Mandataire: Desormiere, Pierre-Louis et al Cabinet Beau de Loménie 158, rue de l'Université 75340 Paris Cedex 07 75340 Paris Cedex 07 (FR)