(19)

(11)

EP 2 529 273 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 01.12.2011 (43) Date de publication: 05.12.2012  Bulletin  2012/49 (21) Numéro de dépôt: 11701139.5 (22) Date de dépôt:  27.01.2011

(51) Int. Cl.:  G03F 7/00(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2011/051137 (87) Numéro de publication internationale: WO 2011/092241 (04.08.2011 Gazette  2011/31)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorité: 28.01.2010 FR 1050569 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeur: LANDIS, Stéfan F-38500 Voiron (FR) (74) Mandataire: Ilgart, Jean-Christophe et al BREVALEX 95 rue d'Amsterdam 75378 Paris Cedex 8 75378 Paris Cedex 8 (FR)