(19)

(11)

EP 2 531 836 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.12.2012  Patentblatt  2012/50 (21) Anmeldenummer: 11705434.6 (22) Anmeldetag:  01.02.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01N 21/47(2006.01) G01B 11/25(2006.01) G01N 21/88(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/000459 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/095322 (11.08.2011 Gazette  2011/32)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 03.02.2010 DE 102010007396 (71) Anmelder: Carl Zeiss OIM GmbH 73117 Wangen (DE)	(72) Erfinder: BECK, Rolf 73728 Esslingen (DE) (74) Vertreter: Carl Zeiss AG - Patentabteilung  Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen 73447 Oberkochen (DE)