(19)
(11) EP 2 532 024 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.12.2012  Patentblatt  2012/50

(21) Anmeldenummer: 10787688.0

(22) Anmeldetag:  23.11.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/683(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/007098
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/095189 (11.08.2011 Gazette  2011/32)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 05.02.2010 DE 102010007127

(71) Anmelder: Ev Group E. Thallner GmbH
4782 St. Florian am Inn (AT)

(72) Erfinder:
  • BURGGRAF, Jürgen
    A-4780 Schärding/Inn (AT)
  • WIESBAUER, Harald
    A-4950 Altheim (AT)
  • WIMPLINGER, Markus
    A-4910 Ried im Innkreis (AT)

(74) Vertreter: Schweiger, Johannes 
Patentanwälte Becker & Müller Turmstrasse 22
40878 Ratingen
40878 Ratingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG EINES TEMPORÄR GEBONDETEN PRODUKTWAFERS