ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSK..HRIS..MTNORS..SM..................*XDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 1100000/02532024A120121212EP10787688.02010112320120613dedede10201000712720100205DE2012121220125020121212201250H01L 21/683 20060101AFI20110822BHEP deVERFAHREN ZUR BEHANDLUNG EINES TEMPORÄR GEBONDETEN PRODUKTWAFERSenMETHOD FOR TREATING A TEMPORARILY BONDED PRODUCT WAFERfrPROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'UNE TRANCHE PRODUITE LIÉE TEMPORAIREMENTEv Group E. Thallner GmbH101237805EVG19502-WO-EPDl Erich Thallner Straße 14782 St. Florian am InnATBURGGRAF, JürgenWernsteiner Straße 34A-4780 Schärding/InnATWIESBAUER, HaraldUlrichweg 11A-4950 AltheimATWIMPLINGER, MarkusBraunauer Straße 84A-4910 Ried im InnkreisATSchweiger, Johannes100054770Patentanwälte Becker & Müller Turmstrasse 2240878 RatingenDEALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTREP201000709820101123deWO201109518920110811201132