(19)
(11) EP 2 534 520 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.12.2012  Patentblatt  2012/51

(21) Anmeldenummer: 11706778.5

(22) Anmeldetag:  11.02.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 21/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/052028
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/098555 (18.08.2011 Gazette  2011/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 12.02.2010 DE 102010007727

(71) Anmelder: Leica Microsystems CMS GmbH
35578 Wetzlar (DE)

(72) Erfinder:
  • WIDZGOWSKI, Bernd
    69221 Dossenheim (DE)
  • BIRK, Holger
    74909 Meckesheim (DE)
  • SEYFRIED, Volker
    69226 Nußloch (DE)

(74) Vertreter: Kudlek & Grunert Patentanwälte 
Postfach 33 04 29
80064 München
80064 München (DE)

   


(54) RASTER-MIKROSKOP UND VERFAHREN ZUM OPTISCHEN ABTASTEN EINER ODER MEHRERER PROBEN