(19)
(11) EP 2 534 676 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.12.2012  Patentblatt  2012/51

(21) Anmeldenummer: 10751653.6

(22) Anmeldetag:  02.09.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/677(2006.01)
H01L 21/687(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/062915
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/098157 (18.08.2011 Gazette  2011/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 11.02.2010 DE 102010008233

(71) Anmelder: Schmid Technology GmbH
68723 Schwetzingen (DE)

(72) Erfinder:
  • SOLLNER, Jürgen
    88239 Wangen-Allgäu (DE)
  • SAUTER, Thomas
    69151 Neckargemünd (DE)
  • MÜNKEL, Jens
    68766 Hockenheim (DE)
  • BUCHNER, Christian
    72270 Baiersbronn (DE)

(74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner 
Kronenstraße 30
D-70174 Stuttgart
D-70174 Stuttgart (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM TRANSPORT VON SUBSTRATEN