(19)
(11) EP 2 537 175 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.12.2012  Patentblatt  2012/52

(21) Anmeldenummer: 11708696.7

(22) Anmeldetag:  14.02.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/000680
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/098295 (18.08.2011 Gazette  2011/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 15.02.2010 DE 102010008084

(71) Anmelder:
  • Leybold Optics GmbH
    63755 Alzenau (DE)
  • Saint-Gobain Glass France
    92400 Courbevoie (FR)

(72) Erfinder:
  • CASPARI, Andreas
    66606 St. Wendel (DE)
  • HENKEL, Stefan
    63811 Stockstadt (DE)
  • TRUBE, Jutta
    63776 Mömbris (DE)
  • STILLE, Sven
    64823 Gross-Umstadt (DE)
  • FÜRFANGER, Martin
    85643 Steinhöring (DE)

(74) Vertreter: Pohlmann, Bernd Michael 
Rossmarkt 12
60311 Frankfurt am Main
60311 Frankfurt am Main (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR THERMISCHEN BEHANDLUNG VON SUBSTRATEN