(19)
(11) EP 2 539 483 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.01.2013  Patentblatt  2013/01

(21) Anmeldenummer: 11711047.8

(22) Anmeldetag:  22.02.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/54(2006.01)
 C23C 16/48(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/052600
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/104232 (01.09.2011 Gazette  2011/35)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 24.02.2010 EP 10154561

(71) Anmelder: Singulus Technologies AG
63796 Kahl am Main (DE)

(72) Erfinder:
  • MAASS, Wolfram
    63589 Linsengericht-Großenhausen (DE)
  • OCKER, Berthold
    63454 Hanau (DE)
  • LANGER, Jürgen
    63075 Offenbach (DE)
  • JOHN, Helmut
    63179 Obertshausen (DE)

(74) Vertreter: Vossius & Partner 
Siebertstrasse 4
81675 München
81675 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM SCHNELLEN HEIZEN UND KÜHLEN EINES SUBSTRATES UND SOFORT ANSCHLIESSENDER BESCHICHTUNG DESSELBEN UNTER VAKUUM