ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSK..HRIS..MTNORS..SM..................*XDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 1100000/02539483A120130102EP11711047.82011022220120808dedede1015456120100224EP2013010220130120130102201301C23C 14/54 20060101AFI20110915BHEP C23C 16/48 20060101ALI20110915BHEP deVERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM SCHNELLEN HEIZEN UND KÜHLEN EINES SUBSTRATES UND SOFORT ANSCHLIESSENDER BESCHICHTUNG DESSELBEN UNTER VAKUUMenMETHOD AND DEVICE FOR RAPIDLY HEATING AND COOLING A SUBSTRATE AND IMMEDIATELY SUBSEQUENTLY COATING THE SAME UNDER VACUUMfrPROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR EFFECTUER UN CHAUFFAGE ET UN REFROIDISSEMENT RAPIDES D'UN SUBSTRAT, SUIVIS IMMÉDIATEMENT D'UN REVÊTEMENT SOUS VIDE DUDIT SUBSTRATSingulus Technologies AG101031457R3218 EPHanauer Landstrasse 10363796 Kahl am MainDEMAASS, WolframUlmenstr. 763589 Linsengericht-GroßenhausenDEOCKER, BertholdPferdslache 1363454 HanauDELANGER, JürgenLachwiesen 49a63075 OffenbachDEJOHN, HelmutNeckarstr. 3763179 ObertshausenDEVossius & Partner100751388Siebertstrasse 481675 MünchenDEALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTREP201105260020110222deWO201110423220110901201135