(19)

(11)

EP 2 539 916 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 14.06.2012 (43) Veröffentlichungstag: 02.01.2013  Patentblatt  2013/01 (21) Anmeldenummer: 11703848.9 (22) Anmeldetag:  31.01.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 37/32(2006.01) H03F 3/217(2006.01) H05H 1/46(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/051278 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/101226 (25.08.2011 Gazette  2011/34)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 22.02.2010 DE 102010008777 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: HEID, Oliver 91052 Erlangen (DE)