(19)

(11)

EP 2 539 922 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 10.05.2012 (43) Date de publication: 02.01.2013  Bulletin  2013/01 (21) Numéro de dépôt: 11707462.5 (22) Date de dépôt:  07.02.2011

(51) Int. Cl.:  H01L 21/02(2006.01) H01L 21/762(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2011/050238 (87) Numéro de publication internationale: WO 2011/104461 (01.09.2011 Gazette  2011/35)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorité: 26.02.2010 FR 1051367 (71) Demandeur: Soitec 38190 Bernin (FR)	(72) Inventeur: OSTERNAUD, Bénédicte F-38380 Saint Laurent du Pont (FR) (74) Mandataire: Desormiere, Pierre-Louis et al Cabinet Beau de Loménie 158, rue de l'Université 75340 Paris Cedex 07 75340 Paris Cedex 07 (FR)