(19)

(11)

EP 2 539 938 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.01.2013  Patentblatt  2013/01 (21) Anmeldenummer: 11706749.6 (22) Anmeldetag:  21.02.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/0224(2006.01) H01L 21/02(2006.01) H01L 31/18(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/000826 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/103994 (01.09.2011 Gazette  2011/35)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 26.02.2010 DE 102010009454 (71) Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V. 80686 München (DE) Albert-Ludwigs-Universität Freiburg 79085 Freiburg (DE)	(72) Erfinder: JANZ, Stefan 79106 Freiburg (DE) MITCHELL, Emily 6055 Guildford (AU) LINDEKUGEL, Stefan 79211 Denzlingen (DE) (74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR  Theresienhöhe 13 DE-80339 München DE-80339 München (DE)