(19)
(11) EP 2 539 947 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.01.2013  Patentblatt  2013/01

(21) Anmeldenummer: 11704780.3

(22) Anmeldetag:  21.02.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 41/083(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/052527
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/101473 (25.08.2011 Gazette  2011/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 22.02.2010 DE 102010008775

(71) Anmelder: Epcos AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GLAZUNOV, Alexander
    8530 Deutschlandsberg (AT)
  • DERNOVSEK, Oliver
    A-8501 Lieboch (AT)

(74) Vertreter: Epping - Hermann - Fischer 
Patentanwaltsgesellschaft mbH Ridlerstraße 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) PIEZOELEKTRISCHES VIELSCHICHTBAUELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES PIEZOELEKTRISCHEN VIELSCHICHTBAUELEMENTS