(19)
(11) EP 2 544 829 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.01.2013  Patentblatt  2013/03

(21) Anmeldenummer: 11707406.2

(22) Anmeldetag:  08.03.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B05D 7/24(2006.01)
B05D 3/14(2006.01)
H01L 51/52(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/053475
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/110564 (15.09.2011 Gazette  2011/37)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 10.03.2010 DE 102010010819

(71) Anmelder: OSRAM Opto Semiconductors GmbH
93055 Regensburg (DE)

(72) Erfinder:
  • BRAUNE, Bert
    93173 Wenzenbach (DE)
  • KEITH, Christina
    93073 Neutraubling (DE)
  • GALESIC, Ivan
    93053 Regensburg (DE)

(74) Vertreter: Epping, Wilhelm 
Epping Hermann Fischer Patentanwaltsgesellschaft mbH Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER PARYLEN-BESCHICHTUNG