(19)

(11)

EP 2 547 805 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 23.01.2013  Patentblatt  2013/04 (21) Anmeldenummer: 11711494.2 (22) Anmeldetag:  18.03.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/08(2006.01) H01J 37/32(2006.01) C23C 14/32(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/054110 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/113927 (22.09.2011 Gazette  2011/38)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 18.03.2010 US 315106 P 19.08.2010 EP 10173410 (71) Anmelder: Oerlikon Trading AG, Trübbach 9477 Trübbach (CH)	(72) Erfinder: RAMM, Juergen CH-7304 Maienfeld (CH) (74) Vertreter: nospat Patent- und Rechtsanwälte Naefe Oberdorfer Schmidt  Isartorplatz 5 80331 München 80331 München (DE)