(19)
(11) EP 2 549 115 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
05.08.2015  Patentblatt  2015/32

(43) Veröffentlichungstag A2:
23.01.2013  Patentblatt  2013/04

(21) Anmeldenummer: 12174596.2

(22) Anmeldetag:  02.07.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
F04D 29/64(2006.01)
 F04D 29/54(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 20.07.2011 DE 102011108115

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Aßlar (DE)

(72) Erfinder:
  • Schweighöfer, Michael
    35641 Schöffengrund (DE)
  • Stoll, Tobias
    35644 Hohenahr (DE)

(74) Vertreter: Knefel, Cordula 
Wertherstrasse 16
35578 Wetzlar
35578 Wetzlar (DE)

   


(54) Turbomolekularpumpe


(57) Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe (1) mit einem Rotor (10) und wenigstens einer Blechstatorscheibe (24,26,28), wobei wenigstens eine Blechstatorscheibe (24,26,28) eine erste Teilscheibe (50) und eine zweite Teilscheibe (52) und sich zwischen einem inneren Radius (202) und einem äußeren Radius (204) erstreckende Schaufeln (54) aufweist, wobei wenigstens ein Blockiermittel (60,62,64,681,682,74,76,82,90,92) zur Verhinderung eines Übereinandergleitens der Teilscheiben (50,52) vorgesehen ist, welches wenigstens teilweise zwischen dem inneren und dem äußeren Radius (202,204) angeordnet ist.







Recherchenbericht









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