(19)

(11)

EP 2 550 675 A1

(12)

(43) Date de publication: 30.01.2013  Bulletin  2013/05 (21) Numéro de dépôt: 11713677.0 (22) Date de dépôt:  24.03.2011

(51) Int. Cl.:  H01L 21/268(2006.01) C01B 31/02(2006.01) H01L 21/288(2006.01) H01L 29/16(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2011/001476 (87) Numéro de publication internationale: WO 2011/116964 (29.09.2011 Gazette  2011/39)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorité: 24.03.2010 FR 1052120 (71) Demandeurs: Université Pierre et Marie Curie Paris 6 75005 Paris (FR) Centre National de la Recherche Scientifique CNRS 75016 Paris (FR)	(72) Inventeurs: HWANG, Gilgueng F-78470 Saint-Remy Les Chevreuse (FR) HALIYO, Dogan, Sinan F-75011 Paris (FR) REGNIER, Stéphane F-92270 Bois-Colombes (FR) (74) Mandataire: Parzy, Benjamin Alain et al Cabinet Boettcher 16, rue Médéric 75017 Paris 75017 Paris (FR)