(19)
(11) EP 2 556 547 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.02.2013  Patentblatt  2013/07

(21) Anmeldenummer: 12713900.4

(22) Anmeldetag:  15.03.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/18(2006.01)
H01L 21/02(2006.01)
 H01L 31/20(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/054532
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/130620 (04.10.2012 Gazette  2012/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 29.03.2011 DE 102011006307

(71) Anmelder: Evonik Degussa GmbH
45128 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • WIEBER, Stephan
    76137 Karlsruhe (DE)
  • PATZ, Matthias
    46240 Bottrop (DE)
  • STENNER, Patrik
    63452 Hanau (DE)
  • CÖLLE, Michael
    45721 Haltern am See (DE)
  • KLATT, Janette
    45665 Recklinghausen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON AMORPHEN HALBLEITERSCHICHTEN