ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSK..HRIS..MTNORS..SM..................*XDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 1100000/02556547A120130213EP12713900.42012031520121107dedede10201100630720110329DE2013021320130720130213201307H01L 31/18 20060101AFI20121018BHEP H01L 31/20 20060101ALI20121018BHEP H01L 21/02 20060101ALI20121018BHEP deVERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON AMORPHEN HALBLEITERSCHICHTENenMETHOD FOR PRODUCING AMORPHOUS SEMICONDUCTOR LAYERSfrPROCÉDÉ DE PRÉPARATION DE COUCHES DE SEMI-CONDUCTEURS AMORPHESEvonik Degussa GmbH1010498952011P00044WERellinghauser Straße 1- 1145128 EssenDEWIEBER, StephanMarie-Juchaczstraße 776137 KarlsruheDEPATZ, MatthiasLindhorstraße 3446240 BottropDESTENNER, PatrikMartin-Luther-Kingstraße 22b63452 HanauDECÖLLE, MichaelArenbergstraße 645721 Haltern am SeeDEKLATT, JanetteCanisiusstraße 13d45665 RecklinghausenDEALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTREP201205453220120315deWO201213062020121004201240