(19)
(11) EP 2 558 611 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.02.2013  Patentblatt  2013/08

(21) Anmeldenummer: 11724528.2

(22) Anmeldetag:  05.04.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/04(2006.01)
C23C 16/455(2006.01)
H01L 21/768(2006.01)
 C23C 16/40(2006.01)
F01D 5/28(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2011/000370
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/127896 (20.10.2011 Gazette  2011/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 16.04.2010 DE 102010015470

(71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • VASSEN, Robert
    52134 Herzogenrath (DE)
  • VONDAHLEN, Frank
    41849 Wassenberg (DE)
  • SEBOLD, Doris
    52457 Aldenhoven (DE)
  • MACK, Daniel, Emil
    50931 Köln (DE)
  • MAUER, Georg
    47918 Tönigvorst (DE)
  • STÖVER, Detlev
    52382 Niederzier (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR INNENBESCHICHTUNG VON FUNKTIONSSCHICHTEN MIT EINEM VERGÜTUNGSMATERIAL.