PROCEDE DE LITHOGRAPHIE A OPTIMISATION COMBINEE DE L'ENERGIE RAYONNEE ET DE LA GEOMETRIE DE DESSIN - Patent 2559054

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EP 2 559 054 A1

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(43)	Date de publication:
	20.02.2013 Bulletin 2013/08

(21)	Numéro de dépôt: 11714291.9

(22)	Date de dépôt: 13.04.2011

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Int. Cl.:

H01J 37/317^(2006.01)

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/EP2011/055863

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2011/128393 (20.10.2011 Gazette 2011/42)

(84)	Etats contractants désignés:
	AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

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Priorité:

15.04.2010 FR 1052862

(71)	Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
	75015 Paris (FR)

(72)	Inventeur:
	MANAKLI, Serdar F-38300 Meyrie (FR)

(74)	Mandataire: Nguyen Van Yen, Christian
	Immeuble "Visium" 22 avenue Aristide Briand 94117 Arcueil Cedex 94117 Arcueil Cedex (FR)

(54)	PROCEDE DE LITHOGRAPHIE A OPTIMISATION COMBINEE DE L'ENERGIE RAYONNEE ET DE LA GEOMETRIE DE DESSIN