(19)

(11)

EP 2 564 437 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 06.03.2013  Patentblatt  2013/10 (21) Anmeldenummer: 11760426.4 (22) Anmeldetag:  31.08.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 41/083(2006.01) H01L 41/09(2006.01) H01L 41/113(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/065023 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/038223 (29.03.2012 Gazette  2012/13)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 22.09.2010 DE 102010041200 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: SCHUH, Carsten 85598 Baldham (DE)