(19)
(11) EP 2 566 807 A1

(12)

(43) Date de publication:
13.03.2013  Bulletin  2013/11

(21) Numéro de dépôt: 10718178.6

(22) Date de dépôt:  07.05.2010
(51) Int. Cl.: 
B81C 1/00(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2010/056278
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2010/136322 (02.12.2010 Gazette  2010/48)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(71) Demandeur: THALES
92200 Neuilly-sur-Seine (FR)

(72) Inventeurs:
  • ZIAEI, Afshin
    F-92170 Vanves (FR)
  • LE BAILLIF, Matthieu
    F-91400 Orsay (FR)

(74) Mandataire: Bréda, Jean-Marc et al
Marks & Clerk France Conseils en Propriété Industrielle Immeuble " Visium " 22, avenue Aristide Briand
94117 Arcueil Cedex
94117 Arcueil Cedex (FR)

   


(54) PROCEDE D'INTEGRATION DE MICRO-INTERRUPTEURS DE TYPE MEMS SUR DES SUBSTRATS EN GaN COMPORTANT DES COMPOSANTS ELECTRONIQUES DE PUISSANCE