(19)

(11)

EP 2 567 096 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 16.08.2012 (43) Veröffentlichungstag: 13.03.2013  Patentblatt  2013/11 (21) Anmeldenummer: 11718056.2 (22) Anmeldetag:  03.05.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F04C 18/16(2006.01) F04C 18/08(2006.01) F04C 25/02(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/057042 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/138318 (10.11.2011 Gazette  2011/45)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 04.05.2010 DE 102010019402 (71) Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: DREIFERT, Thomas 50171 Kerpen (DE) JANICKI, Magnus 50997 Köln (DE) BIRCH, Peter West Sussex RH138JY (GB) MÜLLER, Roland 50968 Köln (DE) (74) Vertreter: von Kreisler Selting Werner  Patentanwälte Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE)