Diminution des effets de casquettes dues à l'ablation laser d'un niveau métallique par utilisation d'une couche de polymère photo- ou thermo- réticulable non réticulé - Patent 2567419

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(11)

EP 2 567 419 A1

(12)

(43)	Date de publication:
	13.03.2013 Bulletin 2013/11

(21)	Numéro de dépôt: 11731442.7

(22)	Date de dépôt: 21.04.2011

(51)

Int. Cl.:

H01L 51/05^(2006.01)

H01L 51/00^(2006.01)

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR2011/050923

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2011/138539 (10.11.2011 Gazette 2011/45)

(84)	Etats contractants désignés:
	AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30)

Priorité:

07.05.2010 FR 1053566

(71)	Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
	75015 Paris (FR)

(72)	Inventeurs:
	HEITZMANN, Marie F-38650 Sinard (FR) BENWADIH, Mohammed F-94500 Champigny Sur Marne (FR)

(74)	Mandataire: Vuillermoz, Bruno et al
	Cabinet Laurent & Charras "Le Contemporain" 50, Chemin de la Bruyère 69574 Dardilly Cédex 69574 Dardilly Cédex (FR)

(54)	Diminution des effets de casquettes dues à l'ablation laser d'un niveau métallique par utilisation d'une couche de polymère photo- ou thermo- réticulable non réticulé