(19)
(11) EP 2 572 186 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.03.2013  Patentblatt  2013/13

(21) Anmeldenummer: 11710176.6

(22) Anmeldetag:  21.03.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 21/95(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/054216
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/144374 (24.11.2011 Gazette  2011/47)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 19.05.2010 DE 102010029133

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • DUPKE, Martin
    04129 Leipzig (DE)
  • FUNK, Karsten
    99425 Weimar (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR CHARAKTERISIERUNG VON PYRAMIDALEN OBERFLÄCHENSTRUKTUREN AUF EINEM SUBSTRAT