(19)
(11) EP 2 576 863 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.04.2013  Patentblatt  2013/15

(21) Anmeldenummer: 11723054.0

(22) Anmeldetag:  31.05.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 24/04(2006.01)
 C23C 24/08(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/058919
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/151313 (08.12.2011 Gazette  2011/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 31.05.2010 DE 102010022597

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • ARNDT, Axel
    10961 Berlin (DE)
  • DOYE, Christian
    13156 Berlin (DE)
  • STIER, Oliver
    12163 Berlin (DE)
  • ULLRICH, Raymond
    14621 Schönwalde (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SCHICHT MITTELS KALTGASSPRITZEN UND VERWENDUNG EINER SOLCHEN SCHICHT