(19)
(11) EP 2 577 719 A1

(12)

(43) Date de publication:
10.04.2013  Bulletin  2013/15

(21) Numéro de dépôt: 11722473.3

(22) Date de dépôt:  01.06.2011
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/425(2006.01)
 H01L 21/477(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2011/059130
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2011/151409 (08.12.2011 Gazette  2011/49)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorité: 03.06.2010 FR 1054370

(71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • BISOTTO, Isabelle
    F-38000 Grenoble (FR)
  • FEUILLET, Guy
    F-38410 Saint-Martin d'Uriage (FR)

(74) Mandataire: Ilgart, Jean-Christophe et al
BREVALEX 95 rue d'Amsterdam
75378 Paris Cedex 8
75378 Paris Cedex 8 (FR)

   


(54) PROCÉDÉ POUR ÉLIMINER DES IMPURETÉS EXTRINSÈQUES RÉSIDUELLES DANS UN SUBSTRAT EN ZnO OU EN ZnMgO DE TYPE N, ET POUR RÉALISER UN DOPAGE DE TYPE P DE CE SUBSTRAT