ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESI....FIRO..CY..TRBGCZEEHUPLSK....................................JBDM Ver 0.1.63 (23 May 2017) - 2999001/0201901142579270CORRECTED EUROPEAN PATENT SPECIFICATIONB8B120190522W173deBibliographieenBibliographyfrBibliographieEP12190693.7200409072013092420151103enenen500256 P20030905US2019052220192120130410201315201804112018152017102720180411AT20180711BG20180411CZ20180411DK20180411EE20180411ES20180411FI20180712GR20180411IT20180411PL20180813PT20180411RO20180411SE20180411SK20190522201921G21K 5/10 20060101AFI20170731BHEP G01N 23/00 20060101ALI20170731BHEP H01J 37/28 20060101ALI20170731BHEP H01J 37/09 20060101ALI20170731BHEP H01J 37/317 20060101ALI20170731BHEP H01J 37/14 20060101ALI20170731BHEP H01J 37/10 20060101ALI20170731BHEP deOptische Partikelsysteme und Anordnungen und optische Partikelkomponenten für solche Systeme und AnordnungenenParticle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangementsfrSystemes et dispositifs d'optique particulaire et composants d'optique particulaire pour de tels systemes et dispositifsUS-A1- 2003 001 095US-B1- 6 465 783US-B1- 6 486 48004783363.7166866220040907Knippelmeyer, RainerRieder Straße 4582211 Herrsching am AmmerseeDEKienzle, OliverMagdelstieg 121b07745 JenaDEKemen, ThomasHermann-Keller-Straße 3549716 MeppenDEMüller, HeikoHäusserstrasse 3369115 HeidelbergDEUhlemann, StephanGaisbergstrasse 1969115 HeidelbergDEHaider, MaximilianPfarrgasse 2069251 GaibergDECasares, AntonioEckenerhöhe 273433 AalenDERogers, Steven49 Moshav Beit Gamliel76880 D.N. Emek SorekILCarl Zeiss Microscopy GmbH101328333Z9123-EP-IXCarl-Zeiss-Promenade 1007745 JenaDEApplied Materials Israel, Ltd.101734823Z9123-EP-IX9 Oppenheimer Street76705 RehovotILDiehl & Partner GbR100060118Patentanwälte Erika-Mann-Strasse 980636 MünchenDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHUIEITLILUMCNLPLPTROSESISKTR20130417201316