(19)
(11) EP 2 583 079 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
24.04.2013  Patentblatt  2013/17

(21) Anmeldenummer: 11732396.4

(22) Anmeldetag:  15.06.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 3/42(2006.01)
G01N 19/04(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/059910
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/157739 (22.12.2011 Gazette  2011/51)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 18.06.2010 DE 102010030260

(71) Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BETHKE, Reinhold
    38304 Wolfenbüttel (DE)
  • EDER, Michael
    38108 Braunschweig (DE)

(74) Vertreter: Goeden, Christian et al
Andrae Flach Haug Patentanwälte Balanstrasse 55
81541 München
81541 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR PRÜFUNG DER HAFTFESTIGKEIT EINER BESCHICHTUNG AUF EINEM SUBSTRAT